关于Micromachine,Micromechanical和MEMS等名词的含义

    • 摘要: 1.Micromachine应译为“微加工”,国内有些文献译为“微机械”是不妥的。因为Micromachine中的machine是动词不是名词,指的是一种加工技术,Micromachine系指加工μm至mm量级元(器)件,其精度可达亚微米(submillimeter)量级。国外文献中,常用Micromachining和Micromachined,更说明machine是动词不是名词。

       

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